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石英玻璃在10^13.5Pa·s時(shí)為應(yīng)變點(diǎn)，電熔管此點(diǎn)溫度為1122℃，此溫度保溫4h，應(yīng)力大部分消除；10^12.2Pa·s時(shí)為退火點(diǎn)，電熔管此點(diǎn)溫度為1215℃，在此溫度保持15min，應(yīng)力大部分消除。石英玻璃熱加工產(chǎn)品常常存在應(yīng)力，可在此溫度退火（消除應(yīng)力），退火的冷卻速度；速度25mm以下產(chǎn)品每小時(shí)下降100℃。

小表一為美國(guó)GE公司各種電熔連熔管和電弧法坩堝高溫黏度值。美國(guó)石英管采用電熔連熔工藝生產(chǎn)，坩堝采用電弧法工藝生產(chǎn)。中國(guó)高純型連熔管和電弧法坩堝的黏度值與美國(guó)相同。資料來(lái)源于美國(guó)通用電氣公司。電熔連熔石英高溫黏度值見(jiàn)圖一。

不同工藝生產(chǎn)的石英玻璃因?yàn)榱u基含量不同，金屬雜質(zhì)含量不同、摻雜量不同，典型溫度點(diǎn)（應(yīng)變點(diǎn)、退火點(diǎn)、軟化點(diǎn)）值也略有不同，列于表二。透明石英玻璃的熔制溫度、加熱工溫度以及使用溫度建議值列于表二內(nèi)。氣煉石英玻璃和合成石英玻璃的高溫黏度如圖二所示。

表一：各種型號(hào)電熔石英玻璃的高溫黏度值

表二：各種工藝生產(chǎn)的透明石英玻璃典型溫度點(diǎn)溫度值

石英玻璃中羥基為非金屬雜質(zhì)，使其含量降低從而降低耐溫性，真空電熔羥基含量(6~8)×10^-6，連熔管經(jīng)過(guò)脫羥，含量可從160×10^-6降到小于5×10^-6。氣煉管羥基含量（240~220）×10^-6，耐溫性比電熔管下降20℃左右，合成石英玻璃（氫氧焰工藝）羥基含量高達(dá)1200×10^-6，乃衛(wèi)星下降70℃。

JC/T597-95規(guī)定，石英管在1200℃±10℃下保溫24h，直徑方向的軟化變形率，在直徑小于120mm時(shí)應(yīng)小于4%，直徑大于120mm時(shí)應(yīng)小于6%。

改進(jìn)高溫下石英玻璃下垂彎曲變形的措施；增加石英玻璃的厚度和減少石英玻璃中羥基的含量，能提高石英玻璃下彎曲變形的耐溫性能，抵抗石英玻璃高溫下垂變形的能力，實(shí)驗(yàn)證明石英管高溫下下垂彎曲變形速度與厚度有關(guān)系，通常壁厚增加一倍，相同變形量的時(shí)間增加3倍。例如1200℃，直徑135mm、壁厚2mm的石英管變形10mm的時(shí)間為25h；壁厚4mm的石英管變形10mm所需時(shí)間為80h，壁厚6mm的石英管變形10mm所需時(shí)間為175h。石英管高溫下變形速度同時(shí)與石英管直徑有關(guān)，直徑越小，變形量越小。例如在1200℃下，保溫40h，直徑100mm的石英管變形2.5mm，而直徑165mm的石英管在相同條件下高達(dá)19mm。圖三河圖四為電熔石英管不通直徑和不同壁厚，高溫下變形量與時(shí)間的關(guān)系。